Setiap mesin litografi NA EUV yang tinggi berharga kira -kira $ 350 juta, jauh lebih tinggi daripada siri EUV standard ASML, yang berharga antara $ 180 juta dan $ 200 juta.Dengan resolusi 8nm dan ketumpatan transistor tiga kali ganda sistem NA yang rendah, mesin NA EUV yang tinggi menawarkan nilai yang luar biasa.
Peranti NA EUV Tinggi Samsung yang pertama, model EXE: 5000 ASML, dijangka akan dihantar pada awal 2025. Memandangkan keperluan pemasangan kompleks peralatan semikonduktor, sering melibatkan fasa ujian yang panjang, EXE: 5000 dijangka beroperasi pada suku keduadaripada 2025.
Teknologi NA EUV yang tinggi melampaui sistem EUV yang sedia ada, membolehkan penciptaan reka bentuk litar yang lebih tepat yang sesuai untuk cip di bawah ambang 5nm, seperti semikonduktor sistem untuk CPU dan GPU.Walaupun standard EUV menyokong nod ke 5nm, NA EUV yang tinggi dapat mencapai saiz di bawah 2nm, meningkatkan prestasi dan mengurangkan pas pendedahan, yang menurunkan kos pengeluaran.Penyelidikan terkini oleh IMEC Belgium dengan kerjasama ASML menunjukkan bahawa pendedahan NA EUV yang tinggi dapat menghasilkan litar logik dan memori lengkap.
Pembangunan ini menandakan penentuan pertama Samsung ke dalam teknologi NA EUV yang tinggi, setelah menjalankan penyelidikan pemprosesan litar sebelum ini dengan kerjasama IMEC.Samsung bertujuan untuk memanfaatkan peralatannya sendiri untuk mempercepatkan pembangunan nod maju, mensasarkan pengkomersialan proses 1.4nm menjelang 2027, yang berpotensi membuka jalan bagi pengeluaran 1nm.
Secara global, persaingan sedang dipanaskan di kalangan gergasi semikonduktor seperti TSMC, Intel, dan Samsung, ketika mereka berlumba untuk memperoleh peralatan NA EUV yang tinggi untuk proses sub-2nm.Intel memimpin jalan dengan memperoleh mesin NA EUV yang pertama pada bulan Disember 2023, dengan TSMC berikutan pada suku ketiga 2024. Walaupun perintah Samsung datang kemudian, pengeluaran yang stabil mungkin terbukti penting dalam mewujudkan kepimpinan industri.
Samsung merancang untuk menggunakan peralatan NA EUV yang tinggi yang diterima pada awal 2025 untuk tujuan penyelidikan, dengan niat untuk memperkenalkan peralatan pengeluaran berdedikasi tidak lama selepas itu.Semasa pertemuan 2024 suku ketiga dengan ASML, Samsung menyatakan ia akan menimbang semula bilangan mesin NA EUV yang tinggi yang pada mulanya merancang untuk mendapatkan, berpotensi mengurangkan pesanan awal oleh dua unit.Syarikat itu pada mulanya bertujuan untuk membawa EXE: 5000 pada suku keempat tahun 2024, dengan model berikutnya EXE: 5200, EXE: 5400, dan EXE: 5600 dijangka diperkenalkan sepanjang dekad yang akan datang.